‘반도체 생산공정, 가스·먼지 동시 해결’ 정전방식 저감장치 개발

한국기계연구원(기계연) 환경시스템연구본부 환경기계연구실 김용진 박사 연구팀이 반도체 공정에 사용할 수 있는 가스·먼지 동시 저감장치를 개발했다.

반도체 생산 과정에서는 육불화황, 사불화탄소, 삼불화질소, 초미세먼지 등 다양한 인체 유해 오염물질이 발생한다.

이와 같은 오염물질들을 제거하기 위해서는 일반적으로 선택적 촉매 환원(SCR)과 습식 스크러버 등을 진행하는데, 설비구축이나 찌꺼기 처리 등 손이 많이 간다.

이번에 연구팀이 개발한 장치는 정전 산화·습식 환원·습식 전기집진 방식을 하나로 결합했다.

기계연의 설명에 따르면 배기가스를 물에 잘 녹는 수용성 상태로 만들고서 복합 환원제를 뿌려 없애는 원리로, 최종 배출되는 초미세먼지는 자동 세정형 전기집진 장치로 제거해 정화 효율을 높였다.

연구팀은 정전방식 가스·먼지 동시 저감장치 기술을 연구소 기업(엔노피아)과 함께 시범 적용했으며, 해당 공정을 적용하면 기존보다 설비 규모를 30％가량 줄일 수 있을 것으로 예상했다.

김용진 박사는 "습식 자동 세정형 전기집진기의 저배압·고내구성 장점을 합쳐놨다"며 "제조 라인 내부에서 직접 운용할 수 있을 것"이라고 말했다.